30p-M-17 溝型構造上への再成長によるGaNの貫通欠陥密度の低減
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概要
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- 1999-03-28
著者
-
杉野 隆
大阪大学工学部
-
石田 昌宏
松下電子工業(株)技術本部・電子総合研究所
-
折田 賢児
松下電子工業(株)技術本部・電子総合研究所
-
中村 真嗣
松下電子工業(株)技術本部・電子総合研究所
-
今藤 修
松下電子工業(株)技術本部・電子総合研究所
-
油利 正昭
松下電子工業(株)技術本部・電子総合研究所
-
伊藤 国雄
松下電子工業(株)技術本部・電子総合研究所
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