シリコン結晶の清浄表面構造 (LSI製造における表面制御技術<特集>)

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概要

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• 一般社団法人 表面技術協会の論文

著者

• 高柳 邦夫

  東京工業大学

• 高柳 邦夫

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

関連論文

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• 28pYH-5 収差補正STEMによる単原子のZコントラストイメージング(微粒子・クラスター,領域9,表面・界面,結晶成長)
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• 22pPSA-38 カーボンフラーレン分子電極間移動に関する電極間距離・バイアス依存性の観察(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 22pPSA-31 TEM-STMによる金電極ファセット・エッジ局所仕事関数の計測(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 21pXA-6 TEM-STMによる金原子鎖のコンダクタンス揺らぎ計測(21pXA 領域9,領域7合同 ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 21pXA-5 金ナノワイヤにおける(111)面に沿ったエレクトロマイグレーションの観察(21pXA 領域9,領域7合同 ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 透過型電子顕微鏡による金ナノワイヤの電気伝導の研究
• 金アトミックシートの電気伝導その場観察 (電顕内でのその場ナノ物性計測)
• ナノ現象の顕微研究
• Au ナノワイヤのコンダクタンス量子化
• 22pPSB-20 収差補正STEMによる単原子観察(22pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 26pPSB-46 球面収差補正STEMによる低温炭素膜上の金属ナノ粒子観察(領域9ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 創立30周年記念特集号に寄せて
• サマリー・アブストラクト
• 量子コンタクト
• 2.4 金属・半導体界面
• 環状明視野法によるリチウム原子の定量観察 (Li電池材料解析の最前線)
• 27pTN-14 球面収差補正ADF-STEMによるZコントラストイメージング(27pTN X線・粒子線(陽電子・電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 27pTN-13 球面収差補正TEMによる非晶質炭素膜を移動する金原子の動的観察(27pTN X線・粒子線(陽電子・電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 27pTN-12 LiV2O4結晶の環状明視野像におけるリチウムカラム強度解析(27pTN X線・粒子線(陽電子・電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 28aTH-1 カーボン原子にアシストされた金アトミックチェーンの生成(28aTH ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 超イオン導電体AgIからの銀細線の成長と電気伝導
• 金属量子接点の構造とコンダクタンス
• 微粒子・原子層成長過程の高分解能・超高真空電子顕微鏡による"その場"観察
• 電子発見100年記念国際シンポジウム
• 30p-N-3 TEM-STMによる原子架橋とコンダクタンス
• 21aJA-9 球面収差補正STEMによるZコントラストイメージング(21aJA X線・粒子線(電子線・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 21aJA-10 環状明視野像メカニズムの解明(21aJA X線・粒子線(電子線・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 超高分解能電子顕微鏡によるリチウム原子の可視化
• 収差補正ABF-STEM法によるLi原子の直接観察 (特集 TEMをもちいた電池のイメージング)
• 球面収差補正透過型電子顕微鏡法を用いたアトミックスケールでの構造解析
• 収差補正ABF-STEM法によるLi原子の直接観察
• シリコン結晶の清浄表面構造 (LSI製造における表面制御技術)
• 超高真空電子顕微鏡法 (表面の評価技術) -- (表面構造評価法)
• 20aFF-6 表面・ナノ構造と物質移動(20aFF 領域9,領域10 合同招待講演,領域9(表面・界面,結晶成長)
• 26aXZA-12 透明アモルファス酸化物半導体InGaZnOのローカルオーダー観察(26aXZA 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))
• タイトル無し
• 6pPSB-58 AFMを用いた液体ナノワイヤに働く力の研究(表面界面結晶成長,領域9)
• 26pDE-8 局所自己相関解析によるアモルファスの短距離秩序(液体金属(液体金属・アモルファス),領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
• 社団法人日本表面科学会 ことはじめ
• 我が国の顕微科学イノベーションに向けて : 会長就任にあたって

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