国産球面収差補正電子顕微鏡R005の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A domestic spherical aberration corrected 300 kV transmission electron microscope named R005, which stands for 0.05 nm resolution, was developed. It has double aberration correctors in probe-forming and image-forming systems for high-resolution scanning transmission electron microscope (STEM) and conventional transmission electron microscope (TEM) observation. Asymmetric corrector optic system was developed to compress the parasitic aberration and the increase of chromatic aberration. Automatic aberration correction systems for STEM and TEM have been implemented. Neighboring atomic columns of Ga (63 pm spacing) in a GaN [211] crystalline specimen was resolved in a high angle annular dark field (HAADF) STEM image for the first time.
- 2008-11-20
著者
-
谷城 康眞
独立行政法人科学技術振興機構・CREST
-
近藤 行人
独立行政法人科学技術振興機構・CREST
-
高柳 邦夫
独立行政法人科学技術振興機構・CREST
-
近藤 行人
Jst-crest:日本電子
-
谷城 康眞
東工大院理工:jst-crest
-
高柳 邦夫
東京工業大学
-
高柳 邦夫
東工大理工
-
谷城 康眞
東工大院総合理工
-
谷城 康眞
東京工業大学大学院理工学研究科
関連論文
- 21pGP-9 宙づり単層及び二層グラフェンの長周期構造直接観察(21pGP グラフェン(成長と評価),領域7(分子性固体・有機導体))
- 21pPSA-16 ガス導入(O_2,N_2)によるAu/TiO_2の構造変化の観察(21pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 20aHT-5 収差補正STEMによる単原子観察とZコントラストイメージング(20aHT 領域10 格子欠陥・ナノ構造(水素,ナノ粒子,金属),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 23pGP-5 電子線非照射下のガス導入による金ナノ粒子/ルチルの構造変化の観察(23pGP ナノ構造・局所光学現象,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 28aYG-6 球面収差補正TEM法によるグラフェン単原子直接観察(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 26aYK-13 収差補正走査型透過電子顕微鏡法によるシリコン結晶中ヒ素ドーパントの検出(X線・粒子線(電子線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 20aWD-5 PtナノチューブのUHV-TEM観察
- 28aYH-4 球面収差補正TEM及びEELSによるグラフェン観察(28aYH 領域7,領域9合同 グラフェン構造・表面物性,領域7(分子性固体・有機導体))
- 20pYE-5 TEM-STMによるAgナノワイヤの構造観察および電気計測II(ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 24pXC-6 TEM-STMを用いた銀ナノワイヤの構造とコンダクタンスの研究II(ナノワイヤ・ナノチューブ,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- 15aPS-76 TEM-STM を用いた銀ナノワイヤの構造とコンダクタンスの研究(領域 9)
- 12aXG-10 TEM-STM による Ag ナノワイヤの構造観察および電気計測(ナノチューブ・ナノワイヤ, 領域 9)
- 21aYE-9 TEM-STM 内で成長させた銀ナノワイヤーの構造とコンダクタンス
- 20aPS-69 TEM-STM による銀ナノワイヤーのコンダクタンス計測
- 28pPSB-63 電子顕微鏡組込用超小型 STM の開発と金属ナノワイヤーへの応用
- 国産球面収差補正電子顕微鏡R005の開発
- 5a-Q-9 表面変性エピタクシー : 表面偏析の最適条件
- 25pWZ-3 Si結晶中Sbドーパント不活性クラスター構造(25pWZ X線・粒子線(電子線),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))
- 収差補正装置の現状と将来
- 第12回表面化学研究会の報告ダイヤモンド表面の負性電子親和力(NEA) : 次世代表示デバイスの可能性
- Si (111) 7×7 再配列構造
- 25pWZ-2 球面収差補正ADF-STEM像におけるZ-contrast(25pWZ X線・粒子線(電子線),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))
- 25pWZ-1 CuInSe_2結晶の欠陥のSTEM観察(25pWZ X線・粒子線(電子線),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))
- 21aTG-2 応力変化に伴う金ナノワイヤの構造変化(ナノチューブ・ナノワイヤー,表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 25aYC-3 応力印加に伴う金ナノワイヤの構造変化II(25aYC ナノチューブ・ナノワイヤ・結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 30aPS-70 応力印加時の金ナノワイヤの変形・破断過程の構造観察(30aPS 領域9ポスターセッション(表面,界面,結晶成長),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 30pXJ-5 応力変化に伴う金ナノワイヤの構造変化(30pXJ ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 21aPS-79 Auナノワイヤの構造と機械的性質(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 20pYE-6 TEM-AFMによる金ナノワイヤの力学特性と構造のその場同時観察(ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 24pXC-5 TEM-AFMによるAuナノワイヤーの力計測と構造観察II(ナノワイヤ・ナノチューブ,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- 25aWS-7 O_2導入によって形成されるAu/TiO_2界面のピラー構造のTEM観察(25aWS 表面界面構造(金属・酸化物),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 25pYG-1 酸素導入による金ナノ粒子/ルチルの界面の状態変化(ナノ構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 29pPSB-27 ガス導入TEMホルダーによるAu/TiO_2触媒のその場観察II(29pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 29pTE-8 ガス雰囲気中その場観察TEM法による金ナノ粒子/ルチルの構造変化の観察(29pTE 微粒子・クラスタ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 22aXB-1 収差補正TEM法による金ナノ粒子/ルチルの界面構造の差異の観察(22aXB 微粒子・クラスタ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 23aTD-8 収差補正TEM法による酸素原子を含む金ナノ粒子/ルチルの界面構造の観察(表面ナノ構造量子物性,微粒子クラスタ,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 28pYH-5 収差補正STEMによる単原子のZコントラストイメージング(微粒子・クラスター,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 27aTE-11 収差補正STEMによる軽元素の単原子観察(27aTE 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 極限の分解能を実現するTEMおよびSTEM (特集 最先端の電子顕微鏡技術と応用展開)
- 原子間力顕微鏡による液体ナノ接点に働く力の研究
- 25aWS-8 球面収差補正TEMによるアモルファスカーボン膜上での金単原子の動的観察(25aWS 表面界面構造(金属・酸化物),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 27p-ZG-3 表面再構成と変性エピタクシー
- 25pPSB-59 高感度CCD-TEM-STMによるナノワイヤ構造変化の動的観察(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 30aPS-71 TEM-STMを用いたAgナノワイヤの構造と電気伝導の研究(30aPS 領域9ポスターセッション(表面,界面,結晶成長),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 30pXJ-4 TEM-STMによるAgナノワイヤの構造観察および電気計測III(30pXJ ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 24pPSA-4 Energy-filtering TEMを用いた金EELSの膜厚依存(ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 19pPSB-54 超イオン導電体AgIを利用したAg細線の作製
- STMと組み合わせた超高真空電子顕微鏡でみる深針-シリコン表面
- タングステン探針によってシリコン(111)表面に誘起される歪みの反射型電子顕微鏡観察
- REM-STMによるSTM探針・表面相互作用の研究
- 24aPS-37 Si結晶の高角度入射-STEM像の定量解析(24aPS 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 26aYH-1 引っ張り過程における金, コンタクトの構造とコンダクタンス(ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 30pTE-10 金[110]ナノワイヤのバリスティック伝導(30pTE ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 22pPSA-38 カーボンフラーレン分子電極間移動に関する電極間距離・バイアス依存性の観察(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 22pPSA-31 TEM-STMによる金電極ファセット・エッジ局所仕事関数の計測(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 21pXA-6 TEM-STMによる金原子鎖のコンダクタンス揺らぎ計測(21pXA 領域9,領域7合同 ナノチューブ・ナノワイヤ,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 21aXJ-3 金ナノ粒子/ルチル界面の酸素原子カラムの観察(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- ナノ現象の顕微研究
- 20aPS-73 金 HMS ナノワイヤのカイラリティーと魔法数
- Au ナノワイヤのコンダクタンス量子化
- 22pPSB-20 収差補正STEMによる単原子観察(22pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 26pPSB-46 球面収差補正STEMによる低温炭素膜上の金属ナノ粒子観察(領域9ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 26aTD-4 広領域観察可能なTEM-STM開発と半導体物性の研究(表面界面電子物性,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 22aXJ-3 広域観察のTEM-STM開発(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 20aPS-39 広域観察可能なTEM-STMの開発(ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 25pPSB-26 広領域観察可能なTEM-STMの開発(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 5p-B-9 金超薄膜の厚さに依存した構造相転移の観察
- 超高真空電子顕微鏡とSTMを組み合わせた装置によるナノワイヤ研究金属原子で作られるナノワイヤと原子鎖の量子化電気伝導
- 23aW-2 金原子鎖の電子顕微鏡像シミュレーションによる検討
- 量子コンタクト
- TEM-STMを用いた金原子架橋の形成とそのコンダクタンス量子化の研究
- 29p-XJ-1 走査トンネル顕微鏡組み込みの超高真空電子顕微鏡によるナノ物質の研究
- 29a-PS-58 量子化コンダクタンスの非整数値 : TEM-STM観測
- 27a-PS-8 TEM-STMによる局所仕事関係の計測
- 25p-YM-12 TEM-STMによる原子ワイヤのコンダクタンスの研究
- 25p-YM-10 金単原子列の構造観察
- 6p-B-9 超高真空TEMによるSTM動作中の探針の観察
- 12aXG-9 TEM-AFM による Au ナノワイヤの力計測と構造観察(ナノチューブ・ナノワイヤ, 領域 9)
- 30pWP-10 TEM-AFMによるAuナノワイヤーの構造観察および力計測II(ナノチューブ・ナノワイヤ)(領域9)
- 収差補正走査透過電子顕微鏡を用いた環状明視野法による軽元素位置の直接観察
- 27pTN-12 LiV2O4結晶の環状明視野像におけるリチウムカラム強度解析(27pTN X線・粒子線(陽電子・電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 24aPS-66 らせん性を持った多重殻金ナノワイヤー
- 27aZ-10 金ナノワイヤーのらせん構造
- 29a-PS-60 Auナノワイヤーの高分解能電子線ホログラフィー観察2
- 29a-PS-59 金原子鎖の異常原子間隔
- 超高真空電子顕微鏡による金の原子架橋の生成と観察
- 25p-K-2 透過型電子顕微鏡に内蔵した液体金属イオン源による錫の柱状成長の"その場"観察
- 27a-PS-25 厚さに依存して再配列した金ナノ薄膜の構造
- 27a-PS-9 3及び4原子列の金原子架橋の構造観察
- 25p-YM-11 Auナノワイヤーの高分解能電子線ホログラフィー観察
- 超イオン導電体AgIからの銀細線の成長と電気伝導
- 31aZF-4 Agl から析出した Ag 細線のコンダクタンス
- 29p-F-11 金の原子架橋の生成と観察
- 30p-N-3 TEM-STMによる原子架橋とコンダクタンス
- 21aJA-10 環状明視野像メカニズムの解明(21aJA X線・粒子線(電子線・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 1p-YE-1 金超薄膜の厚さに依存した構造相転移の観察2
- 5p-X-5 ミリ秒時間分解型電子顕微鏡用高速カメラの開発
- 5a-B-12 金原子架橋の観察II
- 3-horn shapedグラファイト微粒子の電顕観察
- 27aCL-3 球面収差補正STEMによるZコントラストイメージング(27aCL X線・粒子線(電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))