熱陰極電離真空計の比感度係数 (1) : 衝立型電離真空計
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概要
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This paper proposes a new method for the derivation of relative sensitivity coefficient of a hot cathode ionization gauge. The coefficient is derived from the total ionization cross section of the sample gas with the aid of the (<I>l</I>-<I>V</I>) distribution data relevant to the ionizing electrons.<BR>The (<I>l</I>-<I>V</I>) distribution has been newly adopted upon the concept that it signifies characteristics inherent to the hot cathode ionization gauge. It gives the path length <I>l</I><SUB>i</SUB> of an electron which contributes to ionization in terms of its energy <I>e</I><I>V</I><SUB>i</SUB>. The path length <I>l</I><SUB>i</SUB> is computed from the (<I>V</I><SUB>af</SUB>-<I>I</I><SUP>+</SUP>) characteristics which are experimentally measured upon the rationale of the law of scaling which predicts the invariance of electron path configurations under proportional alteration of all electrode voltages.<BR>The Fogel and Schulz gauges were measured of their (<I>V</I><SUB>af</SUB>-<I>I</I><SUP>+</SUP>) characteristics. The (<I>l</I>-<I>V</I>) distribution of each gauge was determined by the fitting method. Relative sensitivity coefficients of fourteen gases were calculated for these gauges. They showed good agreement with the calibrated values.
- 日本真空協会の論文
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