サーモバッフルに関する研究
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概要
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The chevron baffle with the two-stage type thermo-module could be kept at -47°C when the hot side of the module was cooled to 11°C by water. The final pressure was reduced by about one order and reached ca. 1 × 10<SUP>-8</SUP> Torr with this baffle. The main residual gas component was the vapor of diffusion pump oil, DC-704. When the baffle was cooled by water with-out thermo-electrical cooling, the vapor of rotary pump oil was predominant. Radio-frequency mass spectrometer was used for the residual gas analysis.
- 日本真空協会の論文
著者
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美馬 宏司
大阪市立大学
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兼松 太
大阪市立大学工学部
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山崎 寛
早川電機工業KK産業機器事業部
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吉川 善治
大阪市立大学工学部応用物理学科
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美馬 宏司
大阪市立大学工学部応用物理学科
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兼松 太
大阪市立大学工学部応用物理学科
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