外部磁場耐性を持つ超伝導単一磁束量子回路の設計と評価(信号処理基盤技術及びその応用,一般)
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概要
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超伝導単一磁束量子(SFQ)回路の重要な応用に、多チャネル超伝導センサアレーの読み出し回路への適用が挙げられる。そのような応用では、SFQ回路は磁気シールド外で動作することが望ましい。超伝導配線層を3つ持つAIST 2.5kA/cm^2 Nb標準2プロセスを用いて、回路を最上部配線層であるCTL層で覆った磁場耐性を持つSFQ回路の構造を検討した。CTL層を磁場シールドとして用いた時の配線層のインダクタンスを実験により評価した。トグルフリップフロップ(TFF)を用いたテスト回路を設計し、磁場耐性を評価した。回路に印加する磁場を増しても、CTL層を磁気シールドとして用いたTFFの動作マージンと最高動作周波数はほぼ減少しなかった。磁気シールド外でのTFFの120GHzでの動作を実証した。
- 2013-07-15
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