感光性スピンコート膜を用いたパターン形成とデバイス応用(材料デバイスサマーミーティング)
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概要
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正孔輸送性ビニルモノマーと光重合開始剤をスピンコートすることにより,感光性低分子薄膜を形成した.これにマスクを通して紫外線露光することで選択的に重合させ,溶媒でリンスすることで未重合部分を取り除き高分子薄膜パターンを形成した.特に2官能性モノマーを用い,パターン形成後に加熱処理を行うことで,耐溶媒性を持つパターンを得ることができた.また,燐光性イリジウム錯体をドープしたパターンを得ることもできた.これを利用して有機発光素子(EL)を作製し,発光を確認した.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-06-14
著者
-
臼井 博明
東京農工大学
-
田中 邦明
東京農工大学
-
加藤 大智
東京農工大学大学院工学研究院
-
田中 邦明
東京農工大学大学院工学研究院応用科学部門
-
加藤 大智
東京農工大学大学院工学研究院応用科学部門
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