傾斜機能を持つフッ素系蒸着重合膜による反射防止効果(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般)
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概要
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2-(パーフルオロヘキシル)エチルアクリレート(Rf-6)モノマーを,Arイオンアシストによる蒸着重合(IAD)法により蒸着し,フッ素系高分子薄膜を形成した.成膜特性はイオン加速電圧V_aによって大きく影響を受けた.V_aを増大することで表面エネルギーが増加し,膜と基板間の付着強度は改善され,屈折率は増加する傾向が見られた.膜形成時にV_aを300Vから0Vまで連続して変化させることで高い付着強度と低い表面エネルギー,低い光学反射率のすべての特性を満足する傾斜機能を持つ成膜を実現した.その結果良好な付着力と低い表面エネルギーを持つ反射防止膜が形成できた.傾斜機能を持つフッ素系高分子の単層膜を形成することで,ガラスの光学反射率を,波長400nmで4.9%から0.55%まで減少できた.この膜の表面エネルギーは,8.5 mJ/m^2であった.
- 2012-11-09
著者
-
臼井 博明
東京農工大学
-
田中 邦明
東京農工大学大学院工学研究院応用化学部門
-
田中 邦明
東京農工大学
-
松田 剛
東京農工大学大学院工学府
-
泉田 和夫
東京農工大学大学院工学研究院:住友精密工業(株)
-
河西 匠
東京農工大学大学院工学研究院
-
泉田 和夫
ミクロ技研株式会社:東京農工大学大学院工学府
-
河西 匠
東京農工大学大学院工学府
-
泉田 和夫
ミクロ技研株式会社
-
松田 剛
東京農工大学大学院
-
河西 匠
東京農工大学大学院
-
泉田 和夫
ミクロ技研
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