サファイア円柱共振器を用いた銅張誘電体基板の比導電率測定(学生研究発表会,学生研究会/マイクロ波一般)
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概要
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2誘電体共振器法や1誘電体共振器2モード法は表面比導電率σ_<rf>の測定法としてよく知られている。最近、我々は片面銅張誘電体基板の誘電体平板の厚さtが薄いとき、σ_<rf>測定法を応用して界面比導電率σ_<rb>をサファイア円柱共振器のTE_<011>モードだけで簡易に測定する方法を提案した。本論文では、まずサファイア円柱共振器の複素比誘電率の周波数依存性を測定した結果について述べる。次に、tの異なる3種の基板のσ_<rb>を簡易測定法により測定し、MIC形誘電体共振器法による測定値と比較してtに対する適用範囲を検討する。その結果、サファイア円柱の10%以内のtであれば本測定法は有効であることを実証した。
- 2012-10-11
著者
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