C-13-15 電子照射蒸着合法によるフッ素系高分子反射防止薄膜の作製(C-13.有機エレクトロニクス,一般セッション)
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概要
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- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2012-08-28
著者
-
臼井 博明
東京農工大学
-
田中 邦明
東京農工大学大学院工学研究院応用化学部門
-
田中 邦明
東京農工大学
-
八木澤 美理
東京農工大学大学院工学研究院
-
大谷 実
キヤノン(株)生産技術研究所
-
阿部 進
キヤノン(株)生産技術研究所
-
福井 慎次
キヤノン(株)生産技術研究所
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