3229 ウエットブラストに関する基礎研究(S36-2 トライボロジーの基礎と応用(2),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
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概要
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A solid particle impact erosion test is applied to the evaluation of the tribological properties of hard thin coatings. On the other hand, solid particles in water are impacted to the materials in wet blast processing. In the both phenomena, however, the micro fracture mechanism on the surface is not clear. In this study, alumina particles with four different sizes (WA#320〜WA#8000) were impacted on a monocrytalline silicon wafer, and then the fractured traces due to a single particle impact were observed with SEM and AFM. Brittle fracture and plastic deformation were detected, but their appearances were affected by the particle size.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-08-02
著者
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