B-4 レジストオーバハング現象を利用したUHF帯正負反射型弾性表面波共振器の試作(弾性表面波デバイス)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1986-12-08

著者

• 山之内 和彦

  東北大通研

• 山之内 和彦

  東北大学 電気通信研究所

• 竹内 正男

  東北大通研

• 目黒 敏靖

  東北大通研

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