J4 ポリイミド/ZnO/Si_3N_4膜におけるラム波の感湿特性(センサー)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1992-11-30

著者

• 山之内 和彦

  東北大通研

• 山之内 和彦

  東北大学 電気通信研究所

• 竹内 正男

  東北大通研

• 佐藤 学

  石巻専修大学理工

• 山本 達夫

  石巻専修大学理工

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