OC6 ナノメータ微細加工技術を用いた陽極酸化微小ギャップ構造10GHz帯弾性表面波変換器及び一方向性フィルタ(超音波デバイス)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1995-11-27
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