ジベンゾクリセン薄膜を用いた有機TFTの作製と評価(有機材料・一般)
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概要
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有機薄膜トランジスタ(OTFT)において半導体材料にペンタセンが用いれられ、a-Siを並の移動度が報告されている。我々はペンタセン同様、縮合多環芳香族で構成されたジベンゾクリセンに着目し、薄膜の作成を行った。ジベンゾクリセンは合成が容易、可溶などの特徴を持つ。真空蒸着法とスピンコート法でジベンゾクリセン薄膜を作成し、膜のモルフォロジー、電気特性を調べた。真空蒸着法で作製した薄膜もスピンコート法で作製した薄膜もどちらも作製直後はアモルファスであったが、アニールをすることによって結晶性のグレインを持つ薄膜に変化した。電気特性はグレイン間の溝のためにトランジスタ特性は得らなかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-01-14
著者
-
森 竜雄
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
木村 眞
名古屋大学大学院工学研究科
-
森 竜雄
名古屋大学工学研究科
-
森 竜雄
名古屋大学
-
森 竜雄
名古屋大学大学院
-
藤田 圭介
名古屋大学大学院工学研究科
-
森 竜雄
名古屋大学大学院工学部
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