有機FETのためのジベンゾクリセン薄膜の作成と物性(有機材料,一般)
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概要
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有機電界効果トランジスタ(OFET)において半導体材料にペンタセンが用いれられ、a-Siを並の移動度が報告されている。我々はペンタセン同様、縮合多環芳香族で構成されたジベンゾクリセンに着目し、薄膜の作成を行った。ジベンゾクリセンは合成が容易、可溶などの特徴をもつ。真空蒸着法で作成し、蒸着速度の依存性を調べた。0.2nm/sでは均質な非晶質膜、1.7×10-<-3>nm/sでは結晶性の島状構造膜が得られた。また、膜を低真空で放置しておくことで膜構造の変化が見られた。変化した膜は結品性が強くなり、結晶が大きく成長していることがわかった。膜構造を制御するためにバッファ層の導入、基板の昇温行ったが、膜構造の変化を緩和することには成功したが十分な抑制はできなかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-01-18
著者
-
森 竜雄
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
木村 眞
名古屋大学大学院工学研究科
-
森 竜雄
名古屋大学工学研究科
-
森 竜雄
名古屋大学
-
森 竜雄
名古屋大学大学院
-
藤田 圭介
名古屋大学大学院工学研究科
-
森 竜雄
名古屋大学大学院工学部
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