2波長ワンショット干渉計測(ViEW推薦論文)

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概要

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• A new surface profiling technique is proposed, which enables us to measure a surface profile without losing high frequency components of sharp edges and with extended phase measurement range. It is accomplished by a newly developed two-wavelength imaging system and the local model fitting (LMF) algorithm for carrier fringe pattern analysis. The experimental results demonstrated that the proposed method can measure steep steps fast and accurately with an extended measurement range, while the robustness against vibration in the conventional single-shot methods is maintained.

• 社団法人精密工学会の論文
• 2009-02-05

著者

• 杉山 将

  東京工業大学計算工学専攻

• 杉山 将

  東京工業大学情報理工学研究科

• 杉山 将

  東京工業大学

• 小川 英光

  東レエンジニアリング(株)エレクトロニクス事業本部開発センター

• 北川 克一

  東レエンジニアリング(株)エレクトロニクス事業本部開発センター

• 松坂 拓哉

  東京工業大学大学院情報理工学研究科

• 鈴木 一嘉

  東レエンジニアリング(株)

• 北川 克一

  東レエンジニアリング

• 北川 克一

  東レエンジニアリング(株)

• 杉山 将

  東京工業大学 大学院情報理工学研究科

• 小川 英光

  東レエンジニアリング(株)

• 鈴木 一嘉

  東レエンジニアリング (株)

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