帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定
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概要
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- 計測自動制御学会の論文
- 2000-01-30
著者
-
平林 晃
山口大学工学部
-
小川 英光
東京工業大学大学院情報理工学研究科計算工学専攻
-
小川 英光
東レエンジニアリング(株)エレクトロニクス事業本部開発センター
-
北川 克一
東レエンジニアリング(株)エレクトロニクス事業本部開発センター
-
小川 英光
東京工業大学工学部情報工学科
-
北川 克一
東レエンジニアリング
-
北川 克一
東レ(株) エレクトロニクス機器開発センター
-
平林 晃
東京工業大学大学院情報理工学研究科
-
水谷 竜也
東京工業大学大学院理工学研究科
-
永井 健
松下電器産業(株)半導体開発本部
-
北川 克一
東レエンジニアリング(株)
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