等方体/液体/圧電結晶構造のSAWストリーミング現象

概要

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Rayleigh型弾性表面波(SAW)伝播面上に液体を負荷すると、液体中に縦波が放射され、その結果SAWは減衰する。SAWのパワーを増加させていくと、液体は振動、流動、飛翔、霧化など様々な運動をする。この現象をSAWストリーミングと呼ぶ。近年、バイオテクノロジーやナノテクノロジーの発展に伴って、微小量の液体を制御する技術が求められており、ひとつの基板上でさまざまな微小液体の動きを行うことができるSAWデバイスが期待されている。今回、新しくガラス/液体/128YX-LiNbO_3構造におけるSAWストリーミング現象について検討した。液体上にガラスを設けることにより、放射した縦波がガラス板で反射するので、受波IDTまで波が伝播していることが確認できた。また、ガラス上に液滴を乗せたところ、これまでと同様の流動現象が生じた。これらの結果から、SAWデバイスの保護を考えた。この現象の解明のために液体層内のSAWストリーミングを観察も行った。液体中に絵の具を混ぜて観測したところ、従来のSAWストリーミング現象とは異なる現象が生じていることが分かった。
2007-11-22