SAW発振器一体型SAWセンサシステムの開発
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概要
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すべり弾性表面波(SH-SAW)センサは液体の物性値(導電率、誘電率、粘度密度積)を高感度に検出することができるという特徴をもっている。このようなセンサを実用化することは重要である。発振周波数法を用いたSAWセンサシステムは実用化のための一つの方法である。しかし、その他の測定システムと結果が一致しないなどの問題がある。そこで、位相差法を用いたより実用的なセンサシステムの開発をおこなった。本研究ではSAWデバイスを組み込んだ発振器をSAWセンサの人力とし、位相検出器の小型化を行った。本稿では、この液相系SAWセンサシステムの確立を目的とした研究内容を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-02-14
著者
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