弾性表面波素子を用いた薄膜作成(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
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概要
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弾性表面波(SAW)ストリーミングを用いると液滴を霧化することができる。この霧化現象はSAWが液中に入射した際に生じる縦波放射によって液滴が霧化する。すなわちSAWストリーミングの霧化は熱に頼らない方法なので、バイオ分野などの新しい薄膜作成技術として注目を浴びている。SAWストリーミングの噴霧方向はSAWの伝播速度と縦波の伝播速度で決まるレイリー角(22°)方向に霧化する。我々は薄膜作成を簡単にするために垂直方向に霧化する方法を確立した。さらにこの方法を応用して、新しい薄膜作成装置を開発した。この新しい装置を用いたとき、ガラスプレート上にプリンターインクの顔料の吸着を確認することができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-19
著者
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