等方性膜/圧電結晶構造を伝搬する横波型弾性波を用いた高感度化学センサの研究
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概要
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弾性波素子のセンサ応用の中で,最も活発に研究がなされまた期待されているのが質量負荷効果を検出原理とするセンサである.弾性波センサの質量負荷に対するセンサ感度は,動作周波数に強く依存し,周波数が高いほど高感度となる.しかし,センサにとって不要なノイズも周波数に比例する.このため,なるべく低い周波数で高感度センサを実現することは重要である.本研究では,液体/等方性膜/圧電結晶構造を伝搬する横波型弾性波に着目し,この波を用いたセンサの可能性を調べるため数値解析を行った.その結果,等方性膜上で生じる質量負荷効果は,等方性膜の膜厚に大きく依存することが分かった.すなわち,等方性膜の膜厚を制御することにより,高感度質量センサが実現可能であることが明らかになった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-11-22
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