液相系弾性表面波センサの実用化に向けた検討
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概要
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弾性表面波(SAW)デバイスをセンサに応用する研究が盛んである.横波型弾性表面波(SH-SAW)センサは液体の物性値や液体中での化学反応を検出することができる.SAWセンサを実用化する上で,センサ特性を議論することは重要である.本研究では,周波数・損失特性のリップル,周波数-位相特性のひずみを低減するために一方向性IDTを持つSH-SAWセンサを検討した.正規型IDTを持つSH-SAWセンサとの比較により,一方向性IDTを持つSH-SAWセンサの特徴を明らかにした.また,粘度センサ用の校正液として一般的に利用されている標準粘度液の測定を行った.しかし,粘度に対するセンサ応答はこれまで用いてきたグリセリン水溶液よりも小さく,粘度増加とともに応答が飽和することが分かった.得られた結果より,標準粘度液を粘度校正液としてSH-SAWセンサを用いるには,粘弾性を考慮した考察が必要であることが明らかになった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-04-17
著者
-
近藤 淳
静岡大学大学院工学研究科
-
三國 聡
静岡大学大学院工学研究科
-
松井 義和
静岡大学
-
奈良 誠
日本無線株式会社
-
谷津田 博美
日本無線株式会社
-
谷津田 博美
日本無線(株)研究所
-
近藤 淳
静岡大学創造科学技術大学院
-
沖山 雄介
静岡大学
-
三国 聡
静岡大学
-
森田 武
静岡大学
-
近藤 淳
静岡大学
-
近藤 淳
静岡大学創造科学技術大学院:静岡大学大学院工学研究科
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