ランガサイト48.5度回転Yカット基板上の弾性表面波の伝搬特性(超音波エレクトロニクス)
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概要
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ランガサイト48.5度回転Yカット26度X方向付近の基板の弾性表面波の伝搬特性を,振動分布の光学測定とCampbell and Jonesの方法及びAngular Spectrumの解析方法で詳細に調べた.その結果,パワーフロー角はこれまで報告されているいくつかの材料定数間においても,また,自由表面と短絡表面においても0.2〜0.3度程度の相違があり,実験結果との比較においても同程度の相違が認められた.また,回析パターンの光学測定において非対称の特異な回折パターンガ観測されたが,Angular Spectrum法による解析結果と非常に良い一致が得られ,特異な回折パターンは48.5度回転Yカット26度X方向付近の面内回転方位における表面波速度の非対称性によることを明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-09-01
著者
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