反射型弾性表面波素子を用いた計測法の検討
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概要
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圧電結晶上を伝搬する弾性表面波(SAW)の励振はワイヤレスでも利用可能である.すなわち,すだれ状電極(IDT)にアンテナを接続し,所望の周波数を持つ信号を無線で伝送してもSAWを励振することができる.この特徴を利用したのがワイヤレスSAWセンサである.ワイヤレスSAWセンサは,主にIDTと反射器で構成されている.また,その利用方法として,SAWの摂動を利用する場合と反射器に接続されたインピーダンスの変化による反射特性変化を利用する場合の2通りがある.本稿では,反射型SAW素子を用いた2種類のセンサについて検討した.SAW素子の特性のみを評価するため,有線にて実験を行った.具体的には,IDTと反射器間に液体を負荷した液相系センサ,および反射器に接続されたインピーダンス変化による反射特性変化を検出するインピーダンス負荷SAWセンサについて実験を行い,センサ応答について評価した.
- 2010-05-13
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