モード結合理論を用いたパッシブ弾性表面波センサの解析
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概要
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圧電結晶を用いた弾性表面波(surface acoustic wave: SAW)素子は,携帯電話などの高周波信号処理用素子以外にもセンサやアクチュエータとして応用されている.近年,信号入力用のIDTと反射器から構成されるSAW素子とインピーダンスが変化する既存の物理量センサを組合せることで実現できる受動的なSAWセンサ(パッシブSAWセンサ)が注目されている.このセンサは,低コスト,低消費電力,無給電で物理量を計測することができる.そのため,パッシブSAWセンサはメンテナンスフリーのセンサとなる.このパッシブSAWセンサの理論的モデルはまだ構築されておらず,実験的にしか評価されていない.本報では,モード結合理論(coupling of modes theory)を用いて,パッシブSAWセンサのモデリングを行った.またこのモデリング手法を用いて,新たなID SAWデバイスを提案した.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-10-02
著者
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