日本におけるSiC研究開発の現状と展望(第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
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概要
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Sic半導体によるパワーデバイスの研究開発において、省エネルギー化への期待から実用化への動きが活発になってきている。技術開発の動向を紹介するとともに、日本における研究開発の現状と展望について述べる
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-06-18
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