Characterization of D_2 Gas Interaction with (Pb, La)(Zr, Ti)O_3 Film on Pt and Ti at Elevated Temperature
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概要
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The interaction of poly-crystalline (Pb, La)(Zr, Ti)O_3 [PLZT] films deposited on Pt and Ti films with D2 gas was evaluated by baking at 200℃ in 3% D_2/N_2 gas at 4.5 Tort for up to 30 mm. Secondary ion mass-spectroscopy (SIMS) of the D2 gas baked PLZT films on Pt revealed that the PLZT contained a D concentration of 1 × 10^<19> atoms/cm^3. In contrast, the PLZT film which was deposited on Ti contained virtually no D after D_2 gas baking. The incorporation of D into the PLZT film on Pt was attributed to deuteriutn dissociation into D+ ions on the Pt film and then diffusion of D+ into the PLZT film. These results indicate that although the PLZT covered the Pt, the Pt film was catalytically active.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-11-30
著者
-
Cross Jeffrey
Fujitsu Laboratories Ltd.
-
Tsukada Mineharu
Fujitsu Laboratories Inorganic Materials & Polymers Laboratory
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