Evaluation of (Pb, La)(Zr, Ti)O_3 (PLZT) Capacitors of Different Film Thicknesses with Pt/SrRuO_3 Top Electrodes
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-04-15
著者
-
TSUKADA Mineharu
Fujitsu Laboratories Ltd.
-
Cross Jeffrey
Fujitsu Laboratories Ltd.
-
Tsukada Mineharu
Fujitsu Laboratories Inorganic Materials & Polymers Laboratory
-
Otani Seigen
Fujitsu Laboratories Ltd.
-
FUJIKI Mitsushi
Fujitsu Laboratories, Ltd.
-
MATSUURA Katsuyoshi
Fujitsu Ltd.
-
Fujiki Mitsushi
Fujitsu Laboratories Ltd.
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