Development of New Preparation System for Highly Sensitive Flammable Gas Sensor
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概要
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A new deposition system for preparing a highly sensitive flammable gas sensor has been developed. In this method, tin oxide (SnO2) thin films were deposited on Si(l00) and Al_2O_3 substrates using the pulsed Nd:YAG (532 nm) laser deposition (PLD) method and palladium (Pd) thin films were deposited on the same substrate using d.c. sputtering simultaneously. Experimental results suggest that Pd-doped SnO_2 thin films can be prepared using this new method. The sensitivity of the Pd-doped SnO_2 film sensor prepared using this new deposition system is about 3.2 times higher than that of a pure SnO_2 film sensor prepared by the conventional PLD method.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-08-15
著者
-
川崎 仁晴
佐世保工業高等専門学校電気電子工学科
-
Kawasaki Hiroharu
Department Of Electrical Engineering Sasebo National College Of Technology
-
Suda Yoshiaki
Department Of Electrical Engineering Sasebo National College Of Technology
-
Namba Jun
Department Of Electrical Engineering Sasebo National College Of Technology
-
IWATSUJI Keitarou
Department of Electrical Engineering, Sasebo National College of Technology
-
Iwatsuji K
Department Of Electrical Engineering Sasebo National College Of Technology
-
Suda Yoshiaki
Department of Electrical and Electronic Engineering, Sasebo National College of Technology, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan
-
Kawasaki Hiroharu
Department of Electrical and Electronic Engineering, Sasebo National College of Technology, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan
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