遺伝的アルゴリズムと簡易光軸センサを組み合わせた多目的光軸自動調整システム
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概要
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レーザシステムの光軸の位置と角度の調整には一般的にμm精度が要求される.そのうえ,それらはトレードオフの関係が成り立っているため,従来のシステムでは同時調整が困難である.しかも,光軸の位置と角度を検出するために複雑なシステムが必要となるため,構築コストがかかってしまう.この問題を解決するために,光軸の位置と角度を同時検出する簡易光軸センサを新規開発した.このセンサ出力を遺伝的アルゴリズムの評価関数として用いる多目的自動調整手法を提案し,簡便な多目的光軸自動調整システムを実現した.実験の結果,従来は難しかった光軸の位置と角度(2目的)の同時自動調整を3時間で完了できた.
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 2006-10-15
著者
-
野里 博和
産業技術総合研究所
-
古谷 立美
東邦大学大学院理学研究科
-
村田 信治
東邦大学大学院理学研究科情報科学専攻
-
野里 博和
独立行政法人産業技術総合研究所
-
村川 正宏
独立行政法人産業技術総合研究所半導体miraiプロジェクト
-
相川 正宏
産業技術総合研究所次世代半導体研究センター
-
古谷 立美
東邦大学大学院理学研究科情報科学専攻
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