21pYE-7 SiC多形超薄膜の誘電特性(表面・界面電子物性,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 2005-08-19

著者

• 中村 淳

  電通大電子

• 名取 晃子

  電通大電子

• 名取 晃子

  電気通信大学電子工学科

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