1B-2 発光解析を用いたVLSIファンクション不良解析技術
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概要
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- 日本信頼性学会の論文
- 1994-05-21
著者
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宮本 和俊
三菱電機(株) 北伊丹製作所 品質保証部
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石井 達也
三菱電機(株) 北伊丹製作所 品質保証部
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内藤 健作
多田電機(株) 半導体工場 半導体試験部
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宇廻 功二
多田電機(株) 半導体工場 半導体試験部
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石井 達也
日立製作所デバイス開発センタ
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石井 達也
三菱電機(株)半導体基盤技術統括部
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宮本 和俊
三菱電機(株)北伊丹製作所システムlsi開発部
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