内藤 健作 | 多田電機(株) 半導体工場 半導体試験部

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• 多田電機(株) 半導体工場 半導体試験部の論文著者

関連著者

• 内藤 健作

  多田電機(株) 半導体工場 半導体試験部

• 石井 達也

  三菱電機(株) 北伊丹製作所 品質保証部

• 石井 達也

  三菱電機(株)半導体基盤技術統括部

• 宮本 和俊

  三菱電機(株) 北伊丹製作所 品質保証部

• 宇廻 功二

  多田電機(株) 半導体工場 半導体試験部

• 三橋 順一

  三菱電機

• 三橋 順一

  三菱電機(株)ULSI開発研究所評価解析センターLSIプロセス開発第二部

• 内藤 健作

  多田電機(株)半導体工場

• 石井 達也

  三菱電機北伊丹製作所

• 宮本 和俊

  三菱電機北伊丹製作所

• 石井 達也

  日立製作所デバイス開発センタ

• 宮本 和俊

  三菱電機(株)北伊丹製作所システムlsi開発部

• 内藤 健作

  多田電機

• 浅谷 紀夫

  三菱電機(株)半導体基盤技術統括部

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著作論文

• 1B-2 発光解析を用いたVLSIファンクション不良解析技術
• VLSIテスタと接続したエミッション顕微鏡によるメモリLSIの故障検出率の向上
• LSIチップ裏面発光解析技術
• シリコンチップ薄膜化による裏面フォルトアイソレーションの検討

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