Large-Area High-Speed Diamond Deposition by Rf Induction Thermal Plasma Chemical Vapor Deposition Method
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-03-15
著者
-
NODA Shoji
TOYOTA Central Research and Development Laboratories Inc.
-
Noda Shoji
Toyota Central R & D Labs. Inc.
-
Noda S
Assoc. Super‐advanced Electronics Technol. Kanagawa Jpn
-
Higuchi Kazuo
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
-
Kohzaki Masao
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
-
UCHIDA Kiyoshi
TOYOTA Central Research and Development Laboratories, Inc.
-
Uchida Kiyoshi
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
-
HIGUCHI Kazuo
Toyota Central Research & Development Labs., Inc.
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