メモリデバイスにおける電荷再利用方式とその最適化
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概要
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最近、半導体デバイスの低消費電力化のために大きな容量をもつノードに充電された電荷を放電する前に回収し再利用する電荷再利用方式が提案されている。今回、新たな電荷再利用方式とその最適化について検討を行ったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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角 辰巳
松下電子工業(株)電子総合研究所
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平野 博茂
パナソニック株式会社セミコンダクター社プロセス開発センター
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平野 博茂
松下電子工業(株) 京都研究所
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角 辰巳
松下電子工業(株) 電子総合研究所
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角 辰巳
松下電子工業
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