双晶四ホウ酸リチウム結晶を用いたたわみモードアクチュエータ
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概要
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たわみモードアクチュエータは, 比較的低電圧で駆動でき, 大きな変位量が得られ, 構造が簡単であるため, 種々のデバイスに応用されている. 近年, このたわみモードアクチュエータに, クリープ更にはヒステリシスのないモノモルフ形が報告され, 注目されている. これらの材料は, 強誘電体の単結晶またはセラミックスである. 本研究では, 常誘電体結晶(四ホウ酸リチウム)の双晶を用いたモノモルフ形たわみモードアクチュエータを作製し, このアクチュエータの印加電圧と変位との線形性, 径時変化等を測定した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-25
著者
-
宇田 聡
三菱マテリアル(株)電子デバイス開発センター
-
宇田 聡
三菱マテリアル
-
小松 隆一
三菱マテリアルセラミクス研究所
-
小松 隆一
山口大学工学部
-
飯塚 博之
三菱マテリアル株式会社先端事業本部電子技術研究所
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