OB05 バルク波による圧電ウエハの評価(材料・計測)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 2000-11-06

著者

• 宇田 聡

  三菱マテリアル(株)電子デバイス開発センター

• 宇田 聡

  三菱マテリアル

• 王 守〓

  三菱マテリアル(株)電子デバイス開発センター

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