Tersoffポテンシャル練り込みBCC格子モデルによるシリコン結晶成長時の熱力学的特性
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概要
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BCC lattice model is introduced to describe efficiently melting transition of Si.To incorporate realistic many-body interaction into account, Tersoff potential is renormalized on the lattice to be applied. Good agreements are obtained for liquidsolid transition temperature and thermodynamic properlies between the present lattice Monte Carlo and previous Molecular Dynamics results.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1997-07-01
著者
-
福田 承生
東北大学 多元物質科学研究所
-
水関 博志
東北大金研
-
水関 博志
東北大学金属材料研究所
-
宇田 聡
三菱マテリアル(株)電子デバイス開発センター
-
宇田 聡
三菱マテリアル
-
大野 かおる
横国大(工)
-
佐原 亮二
東北大学金属材料研究所
-
大野 かおる
東北大学金属材料研究所
-
福田 承生
三菱マテリアル総合研究所
-
川添 良幸
三菱マテリアル総合研究所
-
Fukuda T
Gunma Univ. Gunma Jpn
-
佐原 亮二
東北大学・金属材料研究所
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