窒化シリコンによる反射防止膜
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
高反射段差基板上での微細配線加工において反射防止とエッチングマスク機能を有する反射防止膜を提案した。この反射防止膜はプラズマCVD法による窒化シリコン(SiN)膜中のSi-Si結合を増加させてホトレジストの露光波長(i線:365nm)に対する吸収性を向上させた上で薄膜の光干渉効果を利用するものである。SiN膜のSi比率を変えて複素屈折率を調べ、Al膜上での反射率をSiN膜厚に対して見積った。Si比率が高い程、反射防止効果は大きいがSiのAl中への拡散が間題となる。ここでは比較的Si比率の低い場合でも十分な反射防止効果が得られることを示した。SiNはAlに対してエッチングマスクにもなるためホトレジストの薄膜化が可能となり、微細加工上有利になる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-01-28
著者
関連論文
- マイクロマシンの最近の動向
- 13a-DF-11 エピタキシャルβ-FeSi_2薄膜の電気的特性
- マイクロマシンに対するマイクロ波エネルギー伝送システム
- カオスを応用した論理回路の組み込み自己テスト
- レーザーレーダ用時間/数値変換LSIの開発
- 可変焦点レンズを用いた長焦点深度視覚機構
- 可動ゲートトランジスタ型加速度センサ
- 位相比較器と周波数可変発振器の一体化構成による高速デジタルPLL
- ゲート遅延時間の電源電圧依存性を利用したA/D変換器
- 位相比較器と周波数可変発振器の一体化構成による高速デジタルPLL
- 磁気抵抗素子とデジタル回路による車輪速センサの開発
- ディジタル処理による高精度化と複数パルス測定を可能とした時間A-D変換LSI
- EL素子の等価回路に関する考察
- 高精度微小時間数値化LSI
- 時間/数値変換LSI
- 金属シリサイド/Si接合系の軟X線放出分光法SXESによる深さ方向非破壊分析
- 力が出る「伸縮屈曲アクチュエ-タ」 (特集 マイクロマシンが大きく見える)
- マイクロマシンへのマイクロ波無線エネルギー供給
- ミリ波レーダ用60GHz帯ミキサMMIC
- 伸縮屈曲型アクチュエータとその特性
- 力積層型圧電アクチュエータを用いた配管内マイクロ移動機構
- 可変焦点レンズの高速動作による長焦点深度顕微鏡
- 配管内マイクロ検査マシン (創刊15周年特集 マイクロマシン技術開発の現段階)
- マイクロ波による配管内エネルギー伝送システムの開発
- マイクロ自律ロボットの群制御 : 免疫ネットワークからのアプローチ
- 窒化シリコンによる反射防止膜
- マルチカラー表示器用EL素子の開発
- マイクロマシンの研究拠点(精密工学の最前線)
- マイクロマシンの研究拠点
- プラズマCVD法で作製したSiN_x膜のXPSによる解析
- Siダイアフラム式可変焦点ミラーの収差低減
- 創発的機能形成形マイクロロボット群システムに関する研究 : マイクロロボット群システムの提案およびプログラマブルマイクロロボット(P-MARS)の設計
- 部分SOI構造を有するインテリジェントパワ-IC
- マイクロフォ-カシングミラ- (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-) -- (マイクロマシン--実用技術)
- マイクロファブリケ-ション (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-) -- (マイクロマシン--製作技術)
- マイクロマシンにおける移動機構
- 部分SOI構造を有するインテリジェントパワーIC