服部 正 | 日本電装 基礎研
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概要
関連著者
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服部 正
日本電装(株)基礎研究所
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服部 正
日本電装 基礎研
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服部 正
日本電装基礎研究所
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服部 正
日本電装(株)
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藤野 誠二
日本電装基礎研究所
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岩見 基弘
岡山大学理学部界面科学研究室
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岩見 基弘
岡山大理
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岩見 基弘
岡大物理
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岩見 基弘
岡山大学理学部
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青山 尚之
静岡大学工学部
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青山 尚之
電気通信大学電気通信学部
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青山 尚之
静岡大学 工学部機械工学科 計測情報講座
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山内 庄一
日本電装基礎研究所
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大島 久純
日本電装基礎研究所
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小原 文雄
日本電装基礎研究所
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榊原 純
日本電装基礎研究所
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松木 英夫
日本電装基礎研究所
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星野 浩一
日本電装基礎研究所
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田口 隆志
日本電装基礎研究所
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上野 祥樹
日本電装基礎研究所
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藤野 誠二
日本電装(株)基礎研究所
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山口 仁
日本電装(株)基礎研究所
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氷見 啓明
日本電装(株)基礎研究所
著作論文
- 金属シリサイド/Si接合系の軟X線放出分光法SXESによる深さ方向非破壊分析
- 窒化シリコンによる反射防止膜
- マイクロマシンの研究拠点(精密工学の最前線)
- マイクロマシンの研究拠点
- プラズマCVD法で作製したSiN_x膜のXPSによる解析
- マイクロフォ-カシングミラ- (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-) -- (マイクロマシン--実用技術)
- マイクロファブリケ-ション (マイクロマシンとマイクロトライボロジ-) -- (マイクロマシン--製作技術)
- 部分SOI構造を有するインテリジェントパワーIC