980nm p基板面発光レーザ

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概要

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• 10Gbps以上の伝送容量を持つパッシブアライメント980nmVCSELアレーモジュールの実現を目指し、p型基板を用いた10チャネル980nmVCSELアレーを試作した。電流閉込め構造にはAlAs酸化電流狭窄構造を用い、素子の平坦化および容量低減のために、ポリイミド埋め込みを採用した。しきい値電流1.3±0.1mAという均一性な特性を持つ10チャネルアレーが得られた。更に、パッシブアライメント10チャネルVCSELモジュールを試作し、小信号変調特性でf3dB=4GHz(@I_<baias>=5mA)、また、パルス変調特性で、2.5Gbps/ch、の変調動作を確認した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2001-02-14

著者

• 横内 則之

  古河電気工業株式会社横浜研究所

• 椎名 泰一

  古河電気工業株式会社 横浜研究所

• 椎名 康一

  古河電気工業株式会社 横浜研究所

• 南野 正幸

  古河電気工業株式会社光技術研究所

• 内山 誠治

  RWCP光インターコネクション古河研究室

• 横内 則之

  RWCP光インターコネクション古河研究室

• 岩瀬 正幸

  RWCP光インターコネクション古河研究室

• 横内 則之

  古河電気工業株式会社 横浜研究所

• 南野 正幸

  古河電気工業株式会社

• 内山 誠冶

  Rwcp光インターコネクション古河研究室

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