ダイレクトボンディングにより製作される半導体基板上集積形光アイソレータ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
二枚の基板を接着剤を用いずに貼り合わせるダイレクトボンディング技術を用いることにより、半導体を導波層とする集積形光アイソレータが製作可能となる。非相反移相効果を用いた光アイソレータを実現するために、GalnAsPとガーネット結晶のダイレクトボンディンダについて研究を進めている。半導体導波層を有する集積形光アイソレータについて述べるとともに、GalnAsPとガーネット結晶のダイレクトボンディングの実験結果について併せて報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-05-13
著者
-
水本 哲弥
東京工業大学
-
中野 義昭
東京大学 先端科学技術研究センタ
-
横井 秀樹
芝浦工業大学工学部電子工学科
-
二口 尚樹
東京大学 先端科学技術研究センター
-
横井 秀樹
東京工業大学 大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
-
甲斐田 憲明
東京大学大学院 工学系研究科 電子工学専攻
-
二口 尚樹
東京大学先端科学技術研究センター,JST-CREST
-
新城 伸大
東京工業大学 工学部 電子物理工学科
-
甲斐田 憲明
東京大学 大学院 工学系研究科
-
二口 尚樹
東京大学先端科学技術研究センター Jst-crest
-
新城 伸大
東京工業大学大学院理工学研究科
関連論文
- 都市部におけるマルチパス防止のための建物外装用広帯域電波吸収パネルの開発
- GaInAsP-DFB導波路の光強度依存屈折率変化とその時間応各特性の測定(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他)
- C-3-29 Si導波路を用いた干渉型光アイソレータの動作実証(半導体導波路デバイス,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- シリコン導波路型光サーキュレータの提案(光パッシブコンポーネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
- C-3-10 Si導波路型光サーキュレータの提案(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- TiO_2/磁性ガーネット導波層を有する非相反移相効果を利用した導波路型光アイソレータ(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
- 直接遷移半導体を用いた導波路形光双安定素子
- 導波路形光双安定素子のための重みづけDFB構造
- C-3-42 導波路型光アイソレータ(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- CT-1-4 表面活性化接合によるSi導波路磁気光学光アイソレータの製作(CT-1.ヘテロジニアス・インテグレーション技術の現状と展望,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
- 一層構造形電波吸収体を適用した電波半無響室の特性
- レイトレーシング法による理想電波吸収体を適用した電波半無響室の設計
- レイトレーシング法による電波半無響室の特性解析に関する検討
- TM偏波にたいするピラミッド形電波吸収体の特性測定
- ゴムフェライト装荷フェライト系電波吸収体を用いた電波半無響室のゾンマーフェルト積分式による解析の検討 : 無線・光伝送
- ゴムフェライト装荷フェライト系電波吸収体を用いた電波半無響室のゾンマーフェルト積分式による解析の検討
- Sommerfeld形式による電波半無響室のサイトアッテネーション
- 無線・光伝送(放送技術,映像情報メディア年報)
- DFB導波路全光スイッチの偏光無依存動作特性
- DFB導波路全光スイッチの偏光無依存動作特性
- DFB導波路全光スイッチの偏光無依存動作特性
- DFB導波路全光スイッチの偏光無依存動作特性
- Ce:YIGを有するInGaAsP/InP非対称導波路からなる非相反偏波コンバータ(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- 半導体レーザとGd_3Ga_5O_のダイレクトボンディングの基礎的検討
- 無線・光伝送(放送技術,映像情報メディア年報)
- シリーズテーパ状非線形方向性結合器の光スイッチ特性
- グレーティング装荷形非線形方向性結合器の特性解析
- グレーティング装荷非線形方向性結合器の光強度依存光スイッチング特性
- テーパ状非線形方向性結合器の特性解析
- グレーティングによるSOI導波路と面実装PDの偏波無依存結合(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
- 半漏れ構造光アイソレータ
- 半漏れ形光アイソレータの検討
- 集積形光アイソレータを目指したダイレクトボンディングにおけるウェハ処理法
- 集積形光アイソレータを目指したダイレクトボンディングにおけるウェハ処理法
- 集積形光アイソレータを目指したダイレクトボンディングにおけるウェハ処理法
- 集積形光アイソレータを目指したダイレクトボンディングにおけるウェハ処理法
- 全光スイッチングのためのグレーティング装荷非線形方向性結合器の検討
- B-12-2 グレーティング装荷方向性結合器における全光スイッチング動作
- C-3-80 信号光と直交する偏光制御光を用いる全光スイッチング
- OCS2000-41 / PS2000-25 / OFT2000-37 ブラッグ反射器装荷形非線形導波路全光スイッチにおける制御光波長依存性
- OCS2000-41 / PS2000-25 / OFT2000-37 ブラッグ反射器装荷形非線形導波路全光スイッチにおける制御光波長依存性
- OCS2000-41 / PS2000-25 / OFT2000-37 ブラッグ反射器装荷形非線形導波路全光スイッチにおける制御光波長依存性
- 全光スイッチの偏光無依存化の検討
- 全光スイッチの偏光無依存化の検討
- 全光スイッチの偏光無依存化の検討
- GaInAsPを用いたブラッグ反射器装荷非線形方向性結合器の全光学的セット・リセット動作
- GaInAsPを用いたブラッグ反射器装荷非線形方向性結合器の全光学的セット・リセット動作
- GaInAsPを用いたブラッグ反射器装荷非線形方向性結合器の全光学的セット・リセット動作
- 非線形DFB導波路における全光学的スイッチング
- GaInAsP-DFB導波路とファイバカプラを用いた全光学的AND動作
- グレーティング装荷非線形方向性結合器の基礎特性
- GaInAsP/InP導波路における全光学的スイッチング特性
- GaInAsP分布反射器における全光学的しきい値動作
- GaInAsP導波路形光双安定素子の全光学的set-reset動作
- GaIhAsPを用いたDFB導波路の光双安定動作
- GaIhAsPを用いたDFB導波路の光双安定動作
- 直接遷移形半導体における光カー効果とそのデバイス応用
- 1-330 コアリッションによる工学教育の相乗的改革(第12報) : 卒研生調査(2006年度)(口頭発表論文,(15)工学教育システムの個性化・活性化-II)
- 7-336 コアリッションによる工学教育の相乗的改革(第8報) : 卒研生調査(2005年度)((15)工学教育システムの個性化・活性化-V)
- 6-104 コアリッションによる工学教育の相乗的改革(第4報) : 卒研生調査((13)体系的教育課程の構成-I)
- C-3-85 超高Δ石英系導波路を用いた小型アサーマルAWG(C-3. 光エレクトロニクス(AWG), エレクトロニクス1)
- ループ形全光スイッチTOADの最適動作条件の検討(学生/若手技術者発表会および一般)
- ループ形全光スイッチTOADのスイッチング特性に関する一検討(光無線システム(ROF,FWA),光映像伝送(CATVを含む),光アクセスシステムおよび一般)
- ループ形全光スイッチTOADのスイッチング特性に対する一検討
- 全光学的ルーチングのためのアドレス認識
- 全光学的ルーティングのための制御信号の生成
- 全光学的アドレス・データ分離方法の提案
- 無線・光伝送(放送技術)(映像情報メディア年報)
- 40488 GFRP桟型電波吸収体の設計と性能測定(電波吸収体, 環境工学I)
- C-4-5 偏波無依存全光スイッチングのためのハイメサDFB導波路の検討
- 偏波無依存全光スイッチングのための非線形GalnAsP DFB導波路の検討
- 偏波無依存全光スイッチングのための非線形GalnAsP DFB導波路の検討
- 偏波無依存全光スイッチングのための非線形GaInAsP DFB導波路の検討
- B-12-9 グリーティング装荷非線形方向性結合器を用いた 1×2 全光スイッチング
- C-3-101 2つの出力ポートを有する光双安定素子における全光set-reset動作実証
- 電波半無響室に要求される反射減衰量に関する考察
- 40555 FDTD法による外壁電波吸収パネル性能予測に関する基礎的検討(基礎理論・材料施工・その他,環境工学I)
- 多角度対応広帯域電波吸収PCパネルの開発(2002年度大会 (北陸) 学術講演梗概集)
- ビル外壁用広帯域電波吸収パネル実用化のための課題とその対策(EMC関連および一般)
- ビル外壁用広帯域電波吸収パネル実用化のための課題とその対策
- 40554 広帯域電波吸収PCパネル実用化のための課題とその対策(計測評価・電磁環境計画,環境工学I)
- 磁性体膜複合フェライト系吸収体を用いた3m、10m法電波暗室 : 無線・光伝送
- 磁性体膜複合フェライト系吸収体を用いた3m、10m法電波暗室
- 光アイソレータ集積化への試み
- テーパ構造を含む結合導波路の広帯域設計
- 規格化空間を用いた結合モード方程式の一般化
- テーパ形結合器の広帯域設計
- 座標変換を用いた結合導波路の規格化
- テーパ形結合器におけるアレーモードの結合特性に対する一考察
- 誘電体結合導波路の規格化空間におけるモード結合方程式
- テーパを含む結合導波路におけるアレーモード間の結合特性
- テｰパを含む結合導波路におけるアレｰモｰド間の結合特性
- 均一形結合器の広帯域設計
- H_2雰囲気アニーリングによる磁気光学結晶の光吸収損失の増加
- 光アイソレータ集積化のためのレーザウェーハのエッチングプロセスの検討
- InPとGd_3Ga_5O_のダイレクトボンディングの検討
- InPとガーネットのダイレクトボンディングの検討
- 磁気光学材料と半導体のダイレクトボンディング
- Gd_3Ga_5O_12>とIII-V族化合物半導体のダイレクトボンディング
- 多入力アレイ導波路型合分波器と多段マッハ・ツェンダ干渉計を利用した広帯域フィルタの設計(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般)