H_2雰囲気アニーリングによる磁気光学結晶の光吸収損失の増加
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概要
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磁気光学材料であるガーネットは近赤外領域で低損失であり, 光アイソレータ等の非相反素子に利用される。筆者らは, 半導体レーザと光アイソレータの集積化を目指して, InPとガーネットのダイレクトボンディングについて研究を進めている。ボンディングは試料の表面処理とその後の熱処理により実現される。これまで熱処理はH_2雰囲気中温度550℃以上で施されていたが, 磁気光学材料として用いているガーネット(LuNdBi)_3(FeAl)_5O_<12> (LNB)の損失が増加することが判明した。損失増加の原因, 及び特性を損なわない熱処理法について検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
水本 哲弥
東京工業大学
-
横井 秀樹
芝浦工業大学工学部電子工学科
-
内藤 喜之
東京工業大学工学部
-
内藤 喜之
東京工業大学
-
丸 浩一
東京工業大学 理工学研究科
-
丸 浩一
東京工業大学工学部
-
横井 秀樹
東京工業大学 大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
-
早瀬 雄一郎
東京工業大学工学部
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