電解重合法によるSi-based Particleの合成と基礎物性
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概要
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テトラクロロシランを用いて電解重合法によるシリコン微粒子の合成を試みた。元素分析^<29>Si-NMR、ESR測定による構造解析から、生成物はO/Siモル比が約2のアモルファス微粒子であることが分かった。これらとUV吸収、フォトルミネッセンス、時分解フォトルミネッセンス測定、及びそれらの窒素雰囲気下での熱処理に伴う変化について検討した。光学スペクトルはいずれも熱処理により低エネルギーシフトし、また加熱過程で部分的にシリコンクラスタが生成している可能性のあることがESR測定結果より示唆された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-09-10
著者
-
相原 聡
NHK放送技術研究所
-
鎌田 憲彦
埼玉大学工学部
-
照沼 大陽
埼玉大学工学部
-
幡野 健
埼玉大学理工学研究科
-
福原 三世
埼玉大学工学部 機能材料工学科
-
幡野 健
埼玉大学工学部 機能材料工学科
-
荒又 幹夫
信越化学(株)
-
石井 礼仁
埼玉大学工学部 機能材料工学科
-
鎌田 憲彦
埼玉大 工
-
照沼 大陽
埼玉大学理工学研究科
-
照沼 太陽
埼玉大学工学部機能材料工学科
-
幡野 健
埼玉大学
-
相原 聡
Nhk技研
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