OME2000-48 ペリレンを骨格に含むポリイミド薄膜の蒸着重合
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概要
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3, 4, 9, 10-ペリレンテトラカルボン酸二無水物(PTCDA)と4, 4'-ジアミノジフェニルエーテル(ODA)を用いて均質で熱的に安定な非晶質ポリイミド薄膜を蒸着重合により作製した。PTCDAとODAを同時に蒸着することでポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が生成することを確認した。このとき、蒸発温度の選定が重要であり、最適な蒸着温度はPTCDAが470℃のときODAは183℃であった。更にこの薄膜を200℃熱処理することでポリイミド薄膜を得た。蒸着重合膜の形成は、蛍光特性や電流-電圧特性の改善に有効であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-07-21
著者
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