ZrO/W(100)表面のXPS,及びLEEDによる観察
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概要
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高輝度で安定な電子放出材料として,ZrO, W(100)熱電界放射型陰極が実用化されている.この陰極は,タングステン表面のジルコニウムが酸素と結合する事により,(100)面の仕事関数が選択的に低下することを利用している.本研究では低速電子線回析(LEED)及びX線光電子分光法(XPS)を用いて,W(100)面上におけるジルコニウムと酸素の挙動を明らかにすることにより,低仕事関数面が形成される過程の解析を試みた.その結果,Zrを蒸着したW(100)を酸素中で加熱し,さらにフラッシングを行うと,表面にはZrO_2ではなくZrOが形成され,これが仕事関数の低下に大きな役割を果たしていると推定される結果が得られた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-10-27
著者
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