放射顕微鏡によるFEA放射特性の雰囲気ガス依存性の検討
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概要
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本稿では雰囲気ガスがFEAの電子放射特性に及ぼす影響を放射顕微鏡を用いて検討した。水素、メタン、エチレンを微量導入することにより、FEAの全放射電流値及び電流変動率を観測しながら、放射顕微鏡により各マイクロチップからの放射電流の変動と均一性を観測した。その結果、水素とメタンは放射電流値を一時的に減少させ、均一性が損なわれることが分かった。一方、エチレンは各マイクロチップからの放射電流の均一性を増大させることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-13
著者
-
安達 洋
室蘭工業大学
-
安達 洋
室蘭工業大学工学部電気電子工学科
-
安達 洋
室蘭工大
-
中根 英章
室蘭工業大学電気電子工学科
-
山根 康一
室蘭工業大学 電気電子工学科
-
武藤 康史
室蘭工業大学電気電子工学科
-
中根 英章
室蘭工業大学
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