金属・酸素複合体による表面低仕事関数化と熱電界放射陰極への応用(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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現在実用化されている熱電界放射陰極はZrO/W(100)で仕事関数は2.7eV程度である。この陰極はタングステンの<100>方位をもつ単結晶針の表面をジルコニウムと酸素で処理することで得られる。我々はイットリュウムを用いると仕事関数が2.1eV程度まで下がることを見いだした。また、基体金属にWの代わりMoを用いて表面をZrで修飾すると仕事関数が2.0eVまで低下することも見いだした。このようにして得られた仕事関数が低減した面の物性測定と、それにもとづいた仕事関数低減機構について議論するとともに、熱電界放射陰極への応用の可能性について議論する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-09
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