電界放射陰極材料としての遷移金属窒化物
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概要
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電子顕微鏡や電子線描画装置のような電子ビーム装置に応用することを念頭に入れて電界放射陰極の研究をしている。この場合、最も重要な因子は輝度と安定度である。電界放射陰極は輝度が非常に高いが、安定度が劣るのが唯一の欠点である。放射電流変動が少ない安定電流を得るには陰極材料そのものを検討する必要がある。遷移金属をアンモニア気体中で加熱することで、Ti、Zr、Nbの窒化物が得られたので、電界放射特性を調べた。この中ではNbNが最も安定に電子放射した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-12-12
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